龙仁精工申请晶圆倒角砂轮修整机及修整方法专利,实现纳米级精度修整:砂轮

国家知识产权局信息显示,苏州龙仁精工科技有限公司申请一项名为“一种晶圆倒角砂轮修整机及修整方法”的专利,公开号CN121018407A,申请日期为2025年10月砂轮

专利摘要显示,本发明公开了一种晶圆倒角砂轮修整机及修整方法,修整机包括待修整砂轮、修整滚轮、驱动模块、砂轮检测模块和控制模块;修整滚轮位于待修整砂轮一侧,用于对待修整砂轮进行修整;驱动模块与修整滚轮电连接,用于驱动修整滚轮运动;砂轮检测模块位于待修整砂轮背离修整滚轮一侧,用于在修整滚轮运动完成后检测待修整砂轮的轮廓图像;控制模块分别与砂轮检测模块和驱动模块电连接,用于控制驱动模块驱动修整滚轮运动;接收待修整砂轮的轮廓图像,确定轮廓图像与预设轮廓图像之间的图像偏差,在图像偏差处于预设偏差范围外时对驱动模块的运动路径进行修正砂轮。利用上述结构,实现纳米级精度修整,保证待修整砂轮形状修整的一致性,提高了晶圆产品良率。

天眼查资料显示,苏州龙仁精工科技有限公司,成立于2025年,位于苏州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业砂轮。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,苏州龙仁精工科技有限公司。

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